




等离子表面处理机改性的基本工序
等离子表面处理机技术处理过的表面,无论是塑料,金属还是玻璃都能获得表面能的提高。通过这样的处理工艺,制品的表面状态才能充分满足后续的涂装,粘接等工艺的要求。 常压等离子表面处理机技术具有极为广泛的应用领域,这使其成为行业中广受关注的核心表面处理工艺。通过使用这种创新的表面处理工艺,可以实现现代制造工艺所追求的高品质,高可靠性,高效率,低成本和环保等目标。 等离子表面处理机处理工艺可以实现有选择的表面改性 活化:大幅提高表面的润湿性能,形成活性的表面 清洗:去除灰尘和油污,精细清洗和去静电 涂层:通过表面涂层处理提供功能性的表面 提高表面的附着能力:提高表面粘接的可靠性和持久性

等离子处理机不同频率激发等离子的区别
等离子体的密度与激发频率如下: nc=1.2425×108v2 其中nc为等离子体密度(cm-3),v为激发频率(Hz)。常见的等离子体激发频率有三种:超声波等离子体激发频率为40kHz,射频等离子处理机等离子体激发频率为13.56MHz,微波等离子体激发频率为2.45GHz。 各种等离子体产生不同的自偏压。超声波等离子体的自偏压约为1000V,射频等离子处理机等离子体的自偏压约为250V,微波等离子体的自偏压非常低,只有几十伏,且三种等离子体的作用机理不同。 超声波等离子体的反应是物理反应,射频等离子处理机等离子体的反应是物理和化学反应,微波等离子体的反应是化学反应。由于超声波等离子体对被清洗表面产生的影响大,所以在实际的半导体清洗活化粘接生产应用中多采用射频等离子处理机等离子体清洗和微波等离子体清洗。


