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等离子表面处理和电晕处理有什么不同
等离子表面处理器与电晕的效果是差不多一样的，只不过处理方式不一样，电晕只能处理很薄的东西，如塑料膜一类的东西，要求处理物体积不能大了，用于宽面积处理。 其原理是利用高频率高电压在被处理的塑料表面电晕放电(高频交流电压高达5000-15000V/m2)，而产生低温等离子体，（等离子表面处理）使塑料表面产生游离基反应而使聚合物发生交联．表面变粗糙并增加其对极性溶剂的润湿性-这些离子体由电击和渗透进入被印体的表面破坏其分子结构，（等离子表面处理）进而将被处理的表面分子氧化和极化，离子电击侵蚀表面，以致增加承印物表面的附着能力。 等离子处理机用于在线式处理，配到各种生产线上处理可以处理曲面表面。（等离子表面处理）对物体大小没有局限性。两种达到的效果是一样的，只不过对被处理物来说那一种更适用。（等离子表面处理）
等离子处理设备的激发频率和密度之间的联系
等离子态的密度和激发频率有如下关系： nc=1.2425×108v2其中nc为等离子态密度（cm-3），v为激发频率（Hz）。 常用的等离子体激发频率有三种：激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体，13.56MHz的等离子体为射频等离子体，2.45GHz的等离子体为微波等离子体。 不同等离子体产生的自偏压不一样。超声等离子体的自偏压为1000V左右，射频等离子体的自偏压为250V左右，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏，而且三种等离子体的机制不同。超声等离子体发生的反应为物理反应，射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响 大，因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子处理设备。
