低温等离子设备的使用注意事项
在实验中当我们想要对各种材料的表面做清洗活化腐蚀沉积或者聚合等操作的时候，必不可少的就是一台低温等离子处理设备，而作为实验室经常使用的高精尖设备，如果使用低温等离子设备的操作不当很有可能导致设备损坏或者运行结果受到影响，所以今天就来说说低温等离子设备使用的注意事项。 ，低温等离子设备在运行的时候对于电源的要求是220V的交流电频率为50HZ的电源，应该在开启设备之前做好电源的连接和检查工作，设备运行之后应该发出的是平稳的运转声，而且通常会有绿色的指示灯常亮来显示设备正常运行，如果出现黄色故障灯亮起，则要停止运行进行排休检查。 第二，在使用低温等离子设备的时候，应该特别注意红色的警示灯，通常设备运行出现问题或者抖动频率过快的情况下红色灯会常亮，这个时候应该马上按下复位键观察设备，如果设备依然出现异常则应该停止设备的运行，然后进行故障的排查，以避免设备出现损坏。 第三，在使用低温等离子设备的时候要定期清洗，而清洗的时候必须要先断开电源，然后再打开真空仓和电控箱，而且注意按照说明书上要求的规范清洗，除此之外现在很多低温等离子设备的真空仓都是外置环形电级所以不容易出现腔内污染。 刚才提到的几点基本上是所有类型的低温等离子设备在使用时都应该注意的情况，而随着设备的种类日渐繁多，操作人员在使用前应该详细阅读并了解使用说明才行，很多低温等离子设备还需要操作人员受到上岗培训才行。而且随着很多低温等离子设备开始带有自洁功能，设备的日常保养也变得更加简答。
等离子处理设备的激发频率和密度之间的联系
等离子态的密度和激发频率有如下关系： nc=1.2425×108v2其中nc为等离子态密度（cm-3），v为激发频率（Hz）。 常用的等离子体激发频率有三种：激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体，13.56MHz的等离子体为射频等离子体，2.45GHz的等离子体为微波等离子体。 不同等离子体产生的自偏压不一样。超声等离子体的自偏压为1000V左右，射频等离子体的自偏压为250V左右，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏，而且三种等离子体的机制不同。超声等离子体发生的反应为物理反应，射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响 大，因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子处理设备。
