等离子处理设备的激发频率和密度之间的联系

等离子态的密度和激发频率有如下关系： nc=1.2425×108v2其中nc为等离子态密度（cm-3），v为激发频率（Hz）。 常用的等离子体激发频率有三种：激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体，13.56MHz的等离子体为射频等离子体，2.45GHz的等离子体为微波等离子体。 不同等离子体产生的自偏压不一样。超声等离子体的自偏压为1000V左右，射频等离子体的自偏压为250V左右，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏，而且三种等离子体的机制不同。超声等离子体发生的反应为物理反应，射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响 大，因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子处理设备。

等离子表面改性的作用是怎样的？

众所周知，等离子表面改性技术是一种非常先进的清洗技术，简单来说，它就是等离子体和材料表面进行相互作用的过程，通过等离子体里面的各类活性粒子撞击材料表面，从而大大提高材料表面的性能。为了让大家对其有更进一步的认知，下面就由小编跟大家详细介绍下。 ，经过等离子表面改性之后，材料表面就会更具有反应活性，在这个过程中，活性粒子在撞击材料表面之后，其分子间的化学键就会被打开，然后产生大量的大分子自由基，这些自由基的作用就是让材料表面具有更大的活力，说白了这个过程就是让材料表面更加洁净。 第二，大家知道，等离子表面改性之后，其材料表面会变得更加粗糙，有时候表面行踪也会发生一段的变化，这就是等离子表面改性所起到作用，它让材料表面发生了刻蚀，在一定程度上可以说满足了人们材料表面的清洗要求。 第三，等离子表面改性的作用不仅仅是能够产出很多自由基，有必要的话，这些自由基还能够重新组合，然后形成致密的网状交联层。可以说这种清洗技术是非常类型的技术所无法做到的。 第四，在对材料表面进行清洗的时候，其自由基还能够跟反应性粒子更好的结合起来，之后材料报名会被引入极性基因。在很多行业，尤其是工业生产中，等离子表面改性技术 是备受青睐的。 综上所述，等离子表面改性技术可以说是备受很多行业青睐的技术之一，使用这种技术对材料表面进行清洗，要比其他类型的清洗方式要更具优势，能够 大限度的满足人们多元化的需求。