1、燃烧法 在进行挥发性有机废气治理的过程中,燃烧法治理技术依托于挥发性有机废气可燃性特性,实现挥发性有机废气的治理。在实际应用中,结合燃烧温度与燃烧方式,划分为以下几种方式, ,直接燃烧。直接燃烧主要是将挥发性有机废气直接燃烧,若废气浓度过高,可以在焚烧炉中完全燃烧,生成二氧化碳和水;若废气浓度偏低,由于无法充分燃烧,工作人员可以适量加入辅助性燃料,促进挥发性有机废气的完全燃烧,进而生成二氧化碳和水,排放到空气中,防止空气污染。第二,催化燃烧。催化燃烧法主要是在挥发性有机废气进行燃烧的过程中,添加适量的催化剂,使得挥发性有机废气可以在焚烧炉中完全燃烧,进而达到治理 效果。实现有机物质的催化分解,辅助燃烧,提高挥发性有机废气的治理水平和治理效率。 2、生物法 在进行挥发性有机废气处理的过程中,生物法主要以过滤为核心,挥发性有机废气大多为工业生产与污水处理中的废气物质,为了实现对恶臭气体的处理,借助生物过滤的方式将有机物质与气体分离,进而获得较为显著的治理效果。在实际应用的过程中,生物过滤治理方法适用于低浓度挥发性有机废气治理中,借助过滤设备,将挥发性有机废气放入生物过滤床中进行治理,生成二氧化碳与水。这主要是在生物过滤床中,生物膜填料会自动吸附挥发性有机废气中的有机物,将其进行生物分解,进而实现挥发性有机废气的治理。 3、吸附法 在进行挥发性有机废气治理的过程中,吸附法主要依托于吸附剂,由于吸附剂的微孔结构,在实际应用中,可以吸附挥发性有机废气中的有机物质,将有机物与气体分离,进而实现挥发性有机废气的治理。但吸附法不利于对有毒其他和活跃气体的处理,而且吸附的废渣处理比较困难。

在多晶硅的生产中，还会产生一定的废气和残液，目前我们的废气处理设备已经比较先进，对以前的处理技术进行了改进，已经达到了较高的水平。 多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料，随着我国太阳能产业的快速发展，多晶硅的需求量也与日俱增。目前，多晶硅工艺技术 活跃。主要有西门子法、冶金法、等离子法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技术等。西门子法是通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅。为了提高原料利用率，在原基础上采用闭环式生产工艺即改良西门子法。改良西门子工艺生产的多晶硅产能约占世界总产能的80%。 国内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。如张玉等人采用催化化学气相沉积法制备多晶硅薄膜;美国M.M.Dahl等人研究了多晶硅在流化床中的微观结构和颗粒生长。此外，多晶硅的生产技术还有碳热还原法、区域熔炼法等。碳热还原法是利用高纯碳还原二氧化硅制取多晶硅，区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到、太阳能级硅的。