在多晶硅的生产中，还会产生一定的废气和残液，目前我们的废气处理设备已经比较先进，对以前的处理技术进行了改进，已经达到了较高的水平。 多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料，随着我国太阳能产业的快速发展，多晶硅的需求量也与日俱增。目前，多晶硅工艺技术 活跃。主要有西门子法、冶金法、等离子法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技术等。西门子法是通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅。为了提高原料利用率，在原基础上采用闭环式生产工艺即改良西门子法。改良西门子工艺生产的多晶硅产能约占世界总产能的80%。 国内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。如张玉等人采用催化化学气相沉积法制备多晶硅薄膜;美国M.M.Dahl等人研究了多晶硅在流化床中的微观结构和颗粒生长。此外，多晶硅的生产技术还有碳热还原法、区域熔炼法等。碳热还原法是利用高纯碳还原二氧化硅制取多晶硅，区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到、太阳能级硅的。

经过几十年的发展PET生产工艺和技术水平已经趋于成熟，但选择什么样的废气处理设备，对于PET生产以及整个聚酯产品生产过程中出现的工业废水和废气处理却仅仅处在起步阶段，及时有效地处理聚酯生产过程中出现的废水和废气问题，能够减小化工生产对环境造成的污染。【工业废气处理】 聚酯废水排放到水流中会对水生态平衡造成危害，发生水生物大面积死亡的现象，严重地还会对生物链产生不可挽回的损害。但是聚酯废水经过处理将污染物分离出来以后，不但不会对生态环境造成危害，还会给水生物提供大量养分，起到变废为宝的作用，不但能改善聚酯化工厂周边的环境，还能减小工厂的生产成本。 我国聚酯生产能力已经步入了国际上的先列，企业生产工艺和设施的逐步完善使得生产能力也不断增加，到目前为止，国内化工厂普遍采用的废水处理方式有“复合生物曝气”、“生物浮选”和活性炭吸附等方式，从原理上可以归纳整理为三类，也就是生物处理、吸附和氧化处理。研究数据表明，不同的处理方式有着不同的优缺点，生物浮选处理废水对水流的质量和流量十分敏感，对于产量较大的化工厂一般不采用这种处理方式，设备的投资和运行费用也随着生产量的提高而提高，所以大部分生产厂家都会根据自己的产能和废水具体工艺采用合适的处理方法。