在多晶硅的生产中，还会产生一定的废气和残液，目前我们的废气处理设备已经比较先进，对以前的处理技术进行了改进，已经达到了较高的水平。 多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料，随着我国太阳能产业的快速发展，多晶硅的需求量也与日俱增。目前，多晶硅工艺技术 活跃。主要有西门子法、冶金法、等离子法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技术等。西门子法是通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅。为了提高原料利用率，在原基础上采用闭环式生产工艺即改良西门子法。改良西门子工艺生产的多晶硅产能约占世界总产能的80%。 国内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。如张玉等人采用催化化学气相沉积法制备多晶硅薄膜;美国M.M.Dahl等人研究了多晶硅在流化床中的微观结构和颗粒生长。此外，多晶硅的生产技术还有碳热还原法、区域熔炼法等。碳热还原法是利用高纯碳还原二氧化硅制取多晶硅，区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到、太阳能级硅的。

近年来，有机溶剂使用增多了起来，我们都知道有机溶剂废气具有挥发性，在生产中及以后使用中一直都会对周围环境的空气造成污染。近年来对有机废气处理加大力度，对挥发性有机废气物质极限值的规定明显地严格了。在测定废气时，必须要遵循法规制订者所规定的极限值。有机废气处理浓度的极限值都降低了，一些物质，如二氯甲烷重新划分了等级。对于废气中的有机废气物质的含量的普遍规定是：浓度不能超过50mg碳/m3，或者物质流量不能超过0.5kg碳/h。许多生产企业必须在废气净化处理环保方面进行新的投入。 对于有机溶剂的使用者和生产者来说，当然会提出寻找可以将有机废气处理到所要求的值的适合的工艺方法。首先必须决定是否需要回收有机溶剂。在这方面，经济性的考虑会作为基础，要考虑有机溶剂的价值、有机溶剂的浓度、废气的体积流量、在一定情况下会出现的混合物的处理费用等等诸多因素。 对于只使用甲苯的企业来说，作出有机废气处理的决定是很简单的事情。在这种情况下，回收装置的费用可以很快得到偿还。尽管在原则上可以考虑其他适用的回收工艺方法，如冷凝、吸收或隔膜方法，但是植物液气相化学反应在近年来被认为是 经济且安全的方法。