等离子处理设备的激发频率和密度之间的联系
等离子态的密度和激发频率有如下关系： nc=1.2425×108v2其中nc为等离子态密度（cm-3），v为激发频率（Hz）。 常用的等离子体激发频率有三种：激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体，13.56MHz的等离子体为射频等离子体，2.45GHz的等离子体为微波等离子体。 不同等离子体产生的自偏压不一样。超声等离子体的自偏压为1000V左右，射频等离子体的自偏压为250V左右，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏，而且三种等离子体的机制不同。超声等离子体发生的反应为物理反应，射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子体清洗对被清洁表面产生的影响 大，因而实际半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子处理设备。
等离子处理设备使用时有哪些注意事项？
说到等离子清洗技术目前已经广泛应用于很多领域，比如光学电子或者生物医疗等很多行业都会用到等离子清洗设备，而等离子清洗设备的工作原理是利用等离子体来对物体表面进行清洗，清洗效果是常规清洗方法无法达到的，而且随着等离子清洗技术的不断革新，现在使用等离子清洗设备的地方越来越多，所以今天就来说说等离子处理设备使用时的注意事项。 ，说到等离子清洗设备还可以根据具体功能细分为真空等离子处理设备或者卷对卷等离子清洗设备等很多种，因此在使用等离子清洗设备之前应该详细阅读配套的使用说明书，而且很多等离子清洗设备在使用之前还要设置相关运行参数，这些都会影响设备的运行，所以应该重视。 第二，凡是经常使用等离子清洗设备的工作人员都知道，要想保证等离子处理设备的正常运行，保护好设备的点火装置是十分重要的，通常情况下如果等离子清洗设备出现问题，则很有可能是因为其点火装置出现了故障，因此日常使用的时候对于点火装置也应该多注意维护和保养才行。 第三，很多时候等离子清洗设备损坏也有可能是因为燃烧器烧坏了，而杜绝这种情况发生的 方法就是注意一次风管没有通风的情况下等离子清洗设备的运行时间不能超过其使用说明书上的规定时间，否则的话是非常容易出现燃烧器烧坏的，还需要更换新的燃烧器。 除了刚才提到的几点之外，对于操作和使用等离子处理设备这类专业技术较高的设备，操作人员必须是经过了专业的培训才能上岗的，而且为了延长设备的使用寿命，操作人员对于等离子清洗设备的启动准备工作也必须要做好才行，只有做到这些才能更好的使用等离子清洗设备。
