废气催化燃烧之所以能够发挥较理想的净化效果，其中催化剂的作用占据较大比例，有了催化剂的催化作用，废气会被净化得较彻底，在使用金属催化剂中，由于成本问题，需要考虑的问题有很多。 1、贵金属含量与催化剂性能 贵金属含量是影响催化剂性能的一个因素。催化剂性能，除了贵金属含量，还与催化剂的制备工艺、助催化剂的使用、多元贵金属的组合等有关。活性组分的分布、贵金属的价态、活性组分与助催化剂之间的电子转移、贵金属的粒子尺寸等因素影响着催化剂的性能。 2、复杂的VOCs组成对催化剂的要求 VOCs种类繁多，企业排放的VOCs与企业的生产性质有关，排放的VOCs的成分差别很大。由于VOCs的复杂性，同一个催化剂对不同有机废气的处理效果也不一样，因此，废气催化燃烧应选择合适的催化剂。 3、催化剂使用寿命问题 VOCs催化剂使用寿命在2年左右，使用寿命取决于催化剂性能和使用环境，及其使用规范性，也与催化剂的制备工艺、贵金属含量、贵金属种类、助催化剂有关。因此针对复杂的VOCs，选择废气催化燃烧的方式处理它之前，合理选择催化剂，及其处理工艺，是发挥催化剂性能和提高使用寿命的途径。 贵金属催化剂在使用中，客户普遍比较关心使用寿命以及性能等问题，废气催化燃烧净化废气离不开催化剂，为了可以让工厂产生的废气达到排放标准，也提高了使用效率。

在多晶硅的生产中，还会产生一定的废气和残液，目前我们的废气处理设备已经比较先进，对以前的处理技术进行了改进，已经达到了较高的水平。 多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料，随着我国太阳能产业的快速发展，多晶硅的需求量也与日俱增。目前，多晶硅工艺技术 活跃。主要有西门子法、冶金法、等离子法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技术等。西门子法是通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅。为了提高原料利用率，在原基础上采用闭环式生产工艺即改良西门子法。改良西门子工艺生产的多晶硅产能约占世界总产能的80%。 国内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。如张玉等人采用催化化学气相沉积法制备多晶硅薄膜;美国M.M.Dahl等人研究了多晶硅在流化床中的微观结构和颗粒生长。此外，多晶硅的生产技术还有碳热还原法、区域熔炼法等。碳热还原法是利用高纯碳还原二氧化硅制取多晶硅，区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到、太阳能级硅的。