在多晶硅的生产中，还会产生一定的废气和残液，目前我们的废气处理设备已经比较先进，对以前的处理技术进行了改进，已经达到了较高的水平。 多晶硅是太阳能和微电子产业的关键原材料，随着我国太阳能产业的快速发展，多晶硅的需求量也与日俱增。目前，多晶硅工艺技术 活跃。主要有西门子法、冶金法、等离子法、硅烷法、流化床法、熔盐电解法、无氯工艺技术等。西门子法是通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅。为了提高原料利用率，在原基础上采用闭环式生产工艺即改良西门子法。改良西门子工艺生产的多晶硅产能约占世界总产能的80%。 国内外对西门子法制备高纯多晶硅的研究较多。如张玉等人采用催化化学气相沉积法制备多晶硅薄膜;美国M.M.Dahl等人研究了多晶硅在流化床中的微观结构和颗粒生长。此外，多晶硅的生产技术还有碳热还原法、区域熔炼法等。碳热还原法是利用高纯碳还原二氧化硅制取多晶硅，区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到、太阳能级硅的。

喷漆废气产生喷涂过程，液态油漆在气压作用下形成雾化粉尘颗粒物及挥发三苯等有机危害物，浓度较高，粒径较小，绝大部分在10?m以下，若未经预处理，将很快堵塞活性炭微孔，使活性炭失效。喷漆废气经过水帘柜清洗后，对漆雾起到很好的清洗降解作用，废气进入水喷淋废气处理塔，经湿式旋流板废气塔进一步清洗处理后，通过加压引风机进入光催化除臭设备内，经高能紫外线照射下，使挥发性有机物化学键开环和断裂等多种反应（光化学反应），降解转变成CO2，H2O等低分子化合物，利用高能紫外光照射空气中的氧气生成臭氧，臭氧吸收紫外线生成氧自由基和氧气，氧自由基与空气中的水蒸气作用生成羟基自由基，一种更强的氧化剂，与醇、醛、羧酸等有机废气，彻底氧化为水、二氧化碳等无机物后，进入活性炭吸附装置进行吸附，废气净化后， 终通过管道排放到大气中达标排放。为达到 净化效果，废气经光催化除臭设备分解后，后续需有3~5秒管道反应时间。